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新モータ駆動マニュピレータ
5101D-STマニュピレータ３軸、ステップモータ駆動
マウス操作によるコントロール
操作性重視のコンパクトサイズ実現
真空マイクロチャンバープローバ-
LCM-10真空プロービング装置真空雰囲気＆最小スペースでも５０４０マニュピレータ６台搭載可能
チャンバー：¢６０×５０
資料台：¢10
真空口：NW10
温度範囲：室温〜500℃
５０４０マニュピレータ
各軸ストローク微動３ｍｍ前後方向の粗動約１５ｍｍ
操作性に優れており、ターゲットのコンタクトが容易に行えます
オプション：同軸プローブ可
１インチヒーターユニット
MAX 500℃冷却用の配管も装備
別の資料台も取り替自由 仕様別のユニット開発中